科技之神從技校校長開始第187章 極紫外光源的進展
光學技術研發實驗室
徐華和李默這兩位負責人正在為極紫外光源技術的幾個問題進行討論。
“李博士，雖然我們有複眼鏡頭的加持，但是在靶材、碎屑汙染也是問題啊！”
徐華有些犯愁。
雖然說蜂巢複眼鏡頭技術的出現，從某種程度上解決了極紫外光源的核心鏡片問題，但是仍舊有一些問題存在。
眾所周知，EUV極紫外光刻機最為關鍵的部件就是極紫外光源，這就不用多說了。
而極紫外光源主要有五大關鍵的問題技術需要攻破，才能正式製造出該光源。
其一是多層膜反射鏡，由於EUV光源子能量極高，幾乎可被所有介質所吸收，較高的反射率可以極大提高光源效能。
而經過研究發現，採用Mo/Si多層膜製備出的反射鏡對中心波長為13.5nm、光譜頻寬在2%以內EUV光的反射率可達70%。
而這一技術在許黎拿出複眼鏡頭技術之後，經過一番實驗後也攻克了。
其二——靶材，為降低離子碎屑、提高EUV-CE，人們開始逐漸減小Sn靶的尺寸，並最終將液滴Sn靶作為主要研究物件。
但是液滴Sn的時空的不穩定性，也給光刻機光源的設計和製造增加了難度。
其三其四分別是驅動光源和雙脈衝模式，這裡不過多講解。
最後就是碎屑汙染的問題，鐳射等離子體透過鐳射將入射到靶材產生高溫、高密度的等離子體並輻射EUV光，其過程必然會產生一定的碎屑（由熔融液滴、微粒團簇、中性碎屑原子和高能離子組成）。
這些碎屑不處理好的話，也會損壞光刻機光學元件，進而影響其效能，甚至對人體健康也有一定的影響。
目前市售EUV光刻機產品均採用將充入惰性氣體或氫氣和外加磁場相結合的方案除去碎屑，當然也可以採用雙脈衝方案去除。
不過這兩種方案皆是不適用於現在所設計的光源。
所以還需要重新商討和設計一個去除碎屑的方案。
“怎麼了？看你們愁眉苦臉的樣子。”
一道熟悉的聲音在他們耳邊響起。
兩人轉過頭去，原來是許黎來了。
他才從施工現場回來，想到最近的EUV光源專案研究進展，就順道過來看看。
“校長，我們正在討論兩個光源的關鍵難題呢...”
李默解釋道，將剛才他們討論的問題大概說了一遍。
“嗯，這的確是個問題...”
許黎摸著下巴。
“要不我們可以這樣.....”
許黎提出了自己的想法。
首先，既然碎屑汙染必定會產生，無論是選擇哪種方案，都會不可避免地產生碎屑，很多去除碎屑的方法基本基本是阻擋緩衝的作用。
那為何不反過來將其吸收轉化，既能大大提高利用率，也能很大程度上減少碎屑汙染的問題。
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接著靶材方面的話換成錫就可以了，雖然可能會產生不少碎屑，但是只要將吸收轉化器做出來，基本能夠搞定這個問題，而且也不會加重光源的設計難度。
“妙啊！校長，你這個想法或許具有較大的可行性！”
徐華眼睛一亮。
“這也算是一個取巧的辦法，短期內可以用於去重新研究新靶材，這樣也省了很多時間。”
李默也覺得這個想法不錯。
“既然如此，我們趕緊試一下，不過我對極紫外光源的一些關鍵技術還不是很懂，等會也只能搭把手了。”
許黎笑了笑。
雖然他從科技圖書館那裡獲得了幾項科技，但是對於極紫外光源的深入肯定沒有眼前這兩位深得多。
等會實驗的時候也只能做個幫手，順便學點東西也是好的。
“校長，這你可就謙虛了，要是不懂，蜂巢複眼鏡頭也不會出現。”
“即使你不懂也沒事，相信校長也能做到。”
徐華和李默也笑了一下，他們認為許黎這是在表示謙虛呢。
“好了，廢話不講了，趕緊讓人準備實驗吧，看看我們的方案是否可行，我們先把碎屑吸轉器件給搞出來再說。”
許黎打斷了他們。
“好！”
於是，三人便開始進入緊張而繁忙的實驗和研究之中。
許黎在此過程中也是學到了不少。
比如這兩位科研人嚴謹的實驗思維和態度，以及其各種操作，還有一些他也不是很清楚的半導體領域基礎知識。
這些都讓他獲益匪淺。
孔子雲：“三人行，必有我師焉。”
許黎即使有了外掛，但是他也不是一個驕傲放縱的人。
地球之上，深空宇宙，還有無數比他要強的、知識淵博的存在。
所以向這些長者學習，也能促使自身進步。
期間，許黎也提前打電話給自己母上大人說今晚不回了，要參與實驗工作。
而徐華倒是先去休息了，因為他年紀也五十多了，也經不住熬。
實驗室裡也只剩下許黎和李默以及幾個年輕的助手還在堅挺，其他人都讓他們回去休息了。
許黎看著幾個助手研究員眼睛通紅，便讓他們先去隔壁的臨時休息室睡一覺。
幾人也沒有拒絕，畢竟這都凌晨三點了，實在有點熬不住了。
“李博士，要不你先去睡一覺，剩下的我來就好。”
許黎開口道。
“可是校長您....”
李默猶豫，他現在的確非常困，但是實驗還沒有做完，而且讓自己老闆一個人呆在這裡也不合情理。
“沒事，我還行，你先去休息吧，身體要緊，總是熬夜的話對身體不好，我這邊成功的話，第一時間通知你。”
“好。”
見許黎如此堅持，李默也不再反對，轉身離開了實驗室。
見眾人都走了，許黎呼喚了一聲。
“小黑！”
“校長，我在！請問有什麼吩咐？”
小黑的貓臉頓時從旁邊的電腦彈了出來。
“幫我計算分析一下......”
現在要設計一下吸轉器，那就必不可免的要進行分析計算。
而許黎自己計算，建立數據模型也是比較慢，所以就叫小黑來幫忙。
人工智慧的計算分析能力肯定比較快。
而他暫時又不能將小黑暴露給其他人，所以支開其他人。
這樣他就能藉助小黑的力量加速極紫外光源的研究進展了。